各國潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度級別表
|
潔凈度級別
|
塵粒最大允許數(shù)/立方米
≥0.5μm塵粒數(shù)
|
≥5μm塵粒數(shù)
|
微生物最大允許數(shù)
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
|
100級
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000級
|
350，000
|
2，000
|
100
|
3
|
|
100，000級
|
3，500，000
|
20，000
|
500
|
10
|
|
300，000級
|
10，500，000
|
60，000
|
1000
|
15
|
|
空氣潔凈
度等級(N)
|
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（空氣粒子數(shù)個/立方米）
|
|||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1.0um
|
5.0um
|
|
|
ISO Class1
|
10
|
2
|
||||
|
ISO Class2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
29
|
|
ISO Class6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
|
ISO Class7
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|||
|
ISO Class8
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
|||
|
ISO Class9
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000
|
|||
|
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平
|
||||||
各國潔凈度等級近似對照表
|
個/M≥0.5um
|
ISO
14644-1(1999)
|
US
209E(1992)
|
US
209D(1988)
|
EEC
cGMP(1989)
|
FRANCE
AFNOR(1981)
|
GERMANY
VDI 2083(1990)
|
JAPAN
JAOA(1989)
|
|
1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3.5
|
2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
0
|
2
|
|
10.0
|
–
|
M1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35.3
|
3
|
M1.5
|
1
|
–
|
–
|
1
|
3
|
|
100
|
–
|
M2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353
|
4
|
M2.5
|
10
|
–
|
–
|
2
|
4
|
|
1,000
|
–
|
M3
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530
|
5
|
M3.5
|
100
|
A+B
|
4,000
|
3
|
5
|
|
10,000
|
–
|
M4
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
35,300
|
6
|
M4.5
|
1,000
|
1,000
|
–
|
4
|
6
|
|
100,000
|
–
|
M5
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
|
400,000
|
5
|
7
|
|
1,000,000
|
–
|
M6
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
|
3,530,000
|
8
|
M6.5
|
100,000
|
D
|
4,000,000
|
6
|
8
|
|
10,000,000
|
–
|
M7
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級
|
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)
|
||||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
|
1
|
10
|
2
|
||||
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
4（十級）
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
5（百級）
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6（千級）
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
7（萬級）
|
352000
|
83200
|
2930
|
|||
|
8（十萬級）
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|||
|
9（一百萬級）
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
|||
概述
空氣潔凈度等級（air cleanliness class）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
測試
一、潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試
（一）空態(tài)、靜態(tài)測試
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。
（二）動態(tài)測試
潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試。
潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測試
（一）測試前的準備
1. 應對潔凈室及其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)進行徹底清潔。
2. 采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內（或風管內）粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處，可以2-4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。
當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。
（二）測試內容
1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等；
2. 潔凈室壓力值；
3. 層流潔凈室斷面風速和氣流流向；
4. 潔凈工作區(qū)的潔凈度；
5. 室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試；
6. 潔凈室內噪聲。
（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法
對于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法，也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。
光散射粒子計數(shù)法：
1. 光散射粒子計數(shù)器采樣量100級：每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級：每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級：每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數(shù)器進行測試；如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數(shù)器。
2. 采樣注意事項：
①采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。
②采樣管的長度，應根據(jù)儀器的允許長度。當無規(guī)定時，不宜大于1.5米。
③采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。
④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。
3. 測點布置：
①檢測在潔凈工作區(qū)內進行。當生產工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米。
②層流潔凈室測點總數(shù)不小于20點，測點間距為0.5-2.0米，粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區(qū)內。
③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點（附圖2）。每增加20-50平方米，增加3-5個測點。
4. 數(shù)據(jù)整理：
①每個測點的數(shù)據(jù)整理應在測試儀器穩(wěn)定運行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數(shù)值。
②對于大于或等于0.5μm的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。
（四）正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。
三、動態(tài)測試
在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。
